Nøgleord
Optisk diffraktions mikroskop
Gittermåling
Citation/Eksport
Resumé
Præsentation af et optisk diffraktionsmikroskop (ODM) udviklet ved Dansk Fundamental Metrologi. Artiklen beskriver modellering af gitterstrukturer og sammenligner ODM med AFM og SEM. Den viser, hvordan spektralanalyse kan rekonstruere nanogeometrier med høj præcision og hurtig måletid. Et stærkt eksempel på anvendt optik i industriel metrologi.
Referencer
[1] P.-E. Hansen and N. Agersnap Optical Diffraction Microscope for Measuring Submicron Gratings. Suss Report 1st Quarter 2004.
[2] P.-E. Hansen and J. C. Petersen (2006), Hurtige overfladekvalitetsmålinger i en driftssituation. Teknisk nyt nr. 46, 2006.
[3] J. Garnaes P.-E. Hansen, N. Agersnap, J. Holm, F. Borsetto, and A. Kühle (2006), Profiles of high aspect ratio grating determined by optical diffraction microscopy and atomic force microscopy, Appl. Opt. Vol 45, page 3201-3212 (2006).
https://doi.org/10.1364/AO.45.003201
[4] P.-E. Hansen, N. Agersnap, A. Kühle, J. Garnaes and J. C. Petersen (2007), Profile characterization using optical diffraction microscopy (ODM), Proc. Northern Optics 2006, IEEE, page 35-39 (2007), ISBN 14244-0435-5.
https://doi.org/10.1109/NO.2006.348369
[5] P.-E. Hansen and L. Nielsen (2008), Combined optimization and hybrid scalar-vector diffraction metod for grating parameters determination, Proc. of the 10th Anniversary International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Euspen, page 516-521 (2008), ISBN 13: 978-09553082-5-3.
Fra og med årgang 37 (2026 -) udgives artikler under licensen Creative Commons Kreditering-IkkeKommerciel CC BY-NC 4.0.
Artikler i årgang 1–36 (1990 - 2025) er ikke udgivet under Creative Commons. Her er alle rettigheder forbeholdt artiklernes respektive forfattere.