Mikromekanik
Vol. 6 No. 4 (1995), Re-publication
Vol. 6 No. 4 (1995)

Mikromekanik

Re-publication
https://doi.org/10.7146/kvant.169181
Published 1995-12-01
Jesper Bay
Microtronic A/S; Mikroelektronik Centret.
Jesper Bay
PDF (Dansk)

Keywords

Mikromekanik
MEMS
Mikroelektronik

How to Cite

Bay, J. (1995). Mikromekanik. KVANT, 6(4). https://doi.org/10.7146/kvant.169181
ACM ACS APA ABNT Chicago Harvard IEEE MLA Turabian Vancouver

Download Citation

Endnote/Zotero/Mendeley (RIS) BibTeX

Abstract

Jesper Bay guider læseren gennem mikromekanikkens verden, hvor klassisk mekanik møder mikroelektronik. Artiklen beskriver, hvordan mekaniske komponenter (som mikrofoner og accelerometre) kan laves på siliciumskiver med teknikker fra halvlederindustrien. Gennem detaljerede forklaringer på ætsning, wafer-bonding, og membranstruktur præsenteres udviklingen af en ny, dobbeltmembran mikrofon, der kombinerer høj følsomhed med robusthed over for atmosfæriske trykændringer. En visionær artikel, der viser, hvordan mikrosystemer revolutionerer sensorik og hvordan mikromekanik kan drive innovation i dansk højteknologi.

https://doi.org/10.7146/kvant.169181
PDF (Dansk)

Counting from volume 37 (2026 -), articles published are licensed under Creative Commons Attribution-NonCommercial CC BY-NC 4.0. 

Articles in volume 1-36 (1990 - 2025) are not licensed under Creative Commons. In these volumes, all rights are reserved to the authors of the articles respectively.