Nyt optisk måleinstrument til indlejrede nanostrukturer - Hansen, Poul-Erik; Dirscherl, Kai; Garnæs, Jørgen (KVANT, 2008)
Præsentation af et optisk diffraktionsmikroskop (ODM) udviklet ved Dansk Fundamental Metrologi. Artiklen beskriver modellering af gitterstrukturer og sammenligner ODM med AFM og SEM. Den viser, hvordan spektralanalyse kan rekonstruere nanogeometrier med høj præcision og hurtig måletid. Et stærkt eksempel på anvendt optik i industriel metrologi.